Tubos de SiC de alta pureza para fornos, destinados ao processamento de semicondutores e altas temperaturas.
Os tubos de carboneto de silício para fornos da Newthink se destacam em ambientes térmicos extremos, até 1.600 °C. Projetados para processos de difusão, oxidação e LPCVD de semicondutores, eles oferecem altíssima pureza (<5 PPM com revestimento CVD), condutividade térmica superior e notável resistência ao choque térmico, eliminando deformações térmicas e contaminação do wafer. Isso resulta em uma vida útil de 3 a 5 vezes maior que a do quartzo, reduzindo significativamente o tempo de inatividade e os custos de substituição.
Soluções de tubos de SiC para fornos com engenharia de precisão
A Newthink oferece tubos de carboneto de silício para fornos fabricados sob medida. Esses tubos, projetados com precisão, proporcionam altos níveis de estabilidade térmica e pureza, sem qualquer deformação.
Preciso e com alta condutividade térmica para aquecimento uniforme de materiais em temperaturas muito elevadas.
Utilizado como tubo de processo para oxidação e difusão de wafers. Proporciona pureza de revestimento inferior a 5 PPM.
Diâmetro amplo de até 300 mm para wafers de grandes dimensões. Alta tolerância ao choque térmico.
Para substituir tubos de quartzo e evitar deformações térmicas e avarias.
Aplicações de tubos de carboneto de silício para fornos na indústria
Os tubos de carboneto de silício para fornos garantem estabilidade térmica, inércia química e alta pureza em ambientes industriais severos sob altas temperaturas.
Fabricação de semicondutores e células fotovoltaicasCriar um ambiente térmico limpo e consistente para a oxidação do wafer, difusão e células solares.
Metalurgia e Tratamentos Térmicos a VácuoUtilizados como tubos de revestimento para sinterização a vácuo e outros processos metalúrgicos de alta temperatura.
Fabricação de Produtos Químicos e BateriasSão resistentes a reações químicas agressivas com gases e à sinterização em altas temperaturas.
Características e vantagens dos tubos de SiC para fornos
Os tubos de carboneto de silício para fornos da Newthink são adequados para aplicações de alta tecnologia que exigem alta estabilidade térmica, pureza química e alta resistência mecânica.
O revestimento CVD reduz as impurezas para menos de 5 PPM, evitando a contaminação dos wafers.
Manter operação contínua a 1.600°C, resistindo a deformações e curvaturas.
Um coeficiente de transferência de calor de 120-150 W/(m·K) proporciona uma uniformidade de temperatura perfeita.
Suporta mudanças bruscas de temperatura sem rachaduras por choque térmico.
Resistência a ácidos fortes, álcalis e gases halogênios em altas temperaturas.
Isolamento perfeito da atmosfera e do vácuo em processos de alta pressão.
Manter resistência à flexão superior a 220 MPa a 1.400°C.
Duram de 3 a 5 vezes mais do que os tubos de fornos de quartzo convencionais.
Por que escolher o tubo de carboneto de silício para forno da Newthink?
No Novopensamento, Oferecemos o melhor do mundo em conhecimento avançado de cerâmica, controle de qualidade e entrega pontual para ajudá-lo a minimizar seus custos operacionais.
Desde 2011, fabricamos e oferecemos nossas soluções cerâmicas a líderes industriais em mais de 40 países.
Podemos entregar pedidos padrão em 1 a 2 meses.
Oferecemos certificados de materiais, relatórios de verificação dimensional e dados de testes de pureza GDMS que comprovam a nossa qualidade. Qualidade certificada pela ISO.
Por meio de nosso avançado processo de usinagem por impressão 3D, atingimos tolerâncias de retilineidade de 0,003 mm.
As peças pequenas serão embaladas a vácuo, enquanto os tubos grandes serão acondicionados em caixas de madeira compensada revestidas com espuma para evitar quebras durante o transporte.
Nossa produção enxuta nos ajuda a manter preços competitivos, ao mesmo tempo que nos permite oferecer entregas rápidas em até 15 dias.
Oficina de Produção de Tubos de Carboneto de Silício para Fornos da Newthink
A Newthink possui instalações de fabricação de última geração. Nossa ampla oficina de produção está equipada com impressoras 3D e máquinas de usinagem de ultraprecisão para garantir uma produção em larga escala. Nosso objetivo é oferecer excelente consistência de qualidade entre diferentes lotes e prazos de entrega rápidos para suas aplicações mais exigentes.
Para reduzir defeitos e contaminação do produto, cada tubo de forno passa por rigorosos controles de qualidade antes de cada envio. Também podemos fornecer testes detalhados de pureza por GDMS, relatórios dimensionais precisos e verificação de qualidade.
Tubo de forno SiC com embalagem segura para envio.
Os produtos cerâmicos de SiC possuem propriedades frágeis. A Newthink utiliza soluções de embalagem protetoras personalizadas para as dimensões dos tubos, a fim de eliminar qualquer risco de danos.
Os tubos de grande porte são embalados em caixas de madeira compensada reforçadas, preenchidas com espuma de alta densidade. Já os tubos menores são embalados a vácuo com proteção antivibração. Garantimos que todos os tubos para fornos cheguem em perfeitas condições para evitar atrasos no seu projeto.
Desempenho superior dos tubos de SiC para fornos
Os tubos de quartzo tradicionais tendem a deformar-se sob condições térmicas extremas. Há também o risco de rachaduras em tubos de alumina devido a ciclos rápidos de aquecimento. Os tubos de grafite oxidam-se rapidamente.
Em comparação com esses materiais para fornos, a substituição por um tubo de carboneto de silício de alta qualidade garante boa estabilidade térmica. Devido à sua alta resistência à flexão e condutividade térmica, o tubo de carboneto de silício mantém sua forma estável mesmo a 1.600 °C, proporcionando uma vida útil de 3 a 5 vezes maior e reduzindo significativamente o tempo de inatividade para manutenção.
Tubos de SiC para fornos com pureza superior e adequação à atmosfera.
A rigorosa limpeza atmosférica é importante no processamento de semicondutores para minimizar as taxas de defeitos nos wafers. A utilização de tubos de forno de SiC de ultra-alta pureza da Newthink garante contaminação metálica mínima, com purezas de 99,97% a 99,99%.
Esses tubos de alta pureza são extremamente estáveis quimicamente sob condições de processamento severas. Apresentam bom desempenho em atmosferas de nitrogênio, argônio e hidrogênio, garantindo maior rendimento de wafers e desempenho térmico superior.
Recurso
Baixe especificações detalhadas do produto, dados técnicos e muito mais. Acesse todas as informações que você precisa.
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A Newthink participa ativamente das principais feiras de cerâmica industrial e avançada em todo o mundo ao longo do ano, como na Itália, Alemanha, Japão e Vietnã, encontrando-se diretamente com nossos clientes.
Convidamos você a visitar nossa fábrica para testemunhar nosso rigoroso controle de qualidade e discutir nossa futura cooperação. Por meio de frequentes interações em eventos e visitas globais, conquistamos a confiança de clientes em mais de 40 países e regiões.
Tabela de especificações técnicas e desempenho do material do tubo de forno de SiC
Compare as principais propriedades físicas e especificações técnicas dos tubos de forno RBSiC, NBSiC, SSiC e RSiC para selecionar o material ideal para sua aplicação em altas temperaturas.
- Propriedades
| Item | Unidade | Dados | |||
| RBSiC (SiSiC) | NBSiC | SSiC | RSiC | ||
| Temperatura máxima de serviço | ℃ | 1,380 | 1,450 | 1,650 | 1,620 |
| Densidade | g/cm3 | 3.02 | 2.75-2.85 | 3.08-3.16 | 2.65-2.75 |
| Porosidade aberta | % | 0 | 13-15 | 0 | 15-18 |
| Resistência à flexão 20℃ | Mpa | 250 | 160 | 380 | 100 |
| Resistência à flexão 1.200℃ | Mpa | 280 | 180 | 400 | 120 |
| Módulo de elasticidade a 20°C | GPA | 330 | 580 | 420 | 240 |
| Módulo de elasticidade 1.200℃ | GPA | 300 | / | / | 200 |
| Condutividade térmica 1.200℃ | W/mk | 45 | 19.6 | 100-120 | 36.6 |
| Coeficiente de expansão térmica | K–1×10-6 | 4.5 | 4.7 | 4.1 | 4.69 |
| HV | kg/mm2 | 2,115 | / | 2,800 | / |
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Os tubos de SiC para fornos podem reduzir os riscos de deformação e contaminação em altas temperaturas de até 1.600 °C. Eles oferecem uma vida útil de 3 a 5 vezes maior que a do quartzo, além de condutividade térmica superior. O uso de tubos de SiC pode reduzir o tempo de inatividade para substituição, aumentar o rendimento de wafers e diminuir os custos de produção em seus processos térmicos exigentes.
Em atmosferas protetoras como nitrogênio ou argônio, um tubo de forno de carbeto de silício suporta temperaturas extremas de até 1.950 °C. Em ambientes com ar ou alto vácuo, as variantes de SSiC operam continuamente até 1.650 °C.
O revestimento CVD sela os microporos da superfície e reduz as impurezas do material base para menos de 5 PPM. Isso cria uma barreira ultrapura no tubo do forno de carbeto de silício, eliminando a liberação de gases metálicos residuais. Pode proteger os wafers semicondutores da contaminação durante a difusão e a oxidação.
Um tubo de forno de carboneto de silício de alto desempenho dura de 3 a 5 vezes mais que um tubo de quartzo. Enquanto este último sofre deformação por volta de 1.100 °C, o SiC mantém alta resistência à flexão até 1.600 °C, reduzindo as trocas frequentes e os custos de manutenção.
Possui condutividade térmica excepcional (120-150 W/m·K) e baixa expansão térmica, sendo ideal para wafers de silício, distribuindo o calor de maneira uniforme e rápida.
Um tubo de forno de carboneto de silício se destaca em ambientes de oxigênio, nitrogênio, argônio e hidrogênio, sendo ideal para difusão de semicondutores corrosivos e processamento químico em fase vapor.
- O SSiC oferece alta pureza e operação contínua a 1.650°C para semicondutores.
- O RBSiC/SiSiC oferece alta resistência até 1.380°C.
- O NBSiC suporta temperaturas de até 1.450°C, sendo ideal para fornos industriais de grande porte.
Podemos personalizar as formulações dos materiais para atender às suas necessidades.
Fabricamos tubos de carboneto de silício para fornos sob medida, com diâmetros internos de 50 mm a 300 mm e comprimentos de até 3,0 metros. Com usinagem de precisão, conseguimos tolerâncias de retilineidade de até 0,003 mm. Também oferecemos opções personalizadas, incluindo extremidades flangeadas, furos, extremidades fechadas e geometrias complexas impressas em 3D.
A impressão 3D permite a moldagem em peça única e com formato final preciso de geometrias complexas de tubos de carboneto de silício para fornos, sem os custos elevados de ferramentas. Ela oferece alta precisão dimensional, integridade estrutural perfeita e capacidade de prototipagem rápida. É possível obter projetos personalizados com prazos de entrega mínimos e sem despesas com moldes.
Embora o investimento inicial seja maior do que o de quartzo ou alumina, um tubo de forno de carboneto de silício proporciona custos operacionais totais significativamente menores. Sua vida útil de 3 a 5 vezes maior, sem deformação térmica, e o tempo de inatividade reduzido compensam o custo inicial rapidamente.
Os pedidos padrão de tubos de carboneto de silício para fornos, feitos sob medida, são enviados em 1 a 2 meses.
Lotes de grande volume levam aproximadamente 3 meses para serem produzidos, enquanto pedidos urgentes de pequeno porte e amostras para testes podem ser entregues em apenas 15 dias.
Você pode limpá-los com segurança usando lavagens ácidas diluídas (HCl/HF) ou secagem térmica para remover resíduos do processo. Inspeções regulares garantem a máxima vida útil operacional.
Oferecemos quantidades mínimas de encomenda flexíveis, a partir de uma única peça, para apoiar a produção experimental. Dependendo das especificações, disponibilizamos amostras de teste gratuitas para verificar a qualidade do produto.
Cada amostra inclui certificados de qualidade ISO completos, testes de pureza GDMS e relatórios de inspeção dimensional.
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