Barco de carboneto de silício

A vida útil dos barcos de cristal de carbeto de silício é muito longa porque o carbeto de silício possui excelentes propriedades, como resistência a altas temperaturas, corrosão, resistência mecânica e excelente estabilidade química.

A vida útil dos barcos de carboneto de silício pode chegar a até aproximadamente 1000 a 3000 vezes em condições normais de processo. na fabricação de semicondutores e em outras indústrias. Se aplicado em alguns processos especiais com menos perdas para o cristal, sua vida útil pode ser ainda maior. mais de 3000 vezes após boa manutenção. Em algumas condições de processo severas, como temperaturas extremamente altas ou ambientes com forte corrosão química, a vida útil do substrato de carboneto de silício pode ser reduzida em 800 a 1500 vezes.

As embarcações de carbeto de silício não contaminarão os wafers pelos seguintes motivos:
① Alta pureza e baixas impurezas: Controlamos rigorosamente a pureza, incluindo a pureza do branco e a pureza do CVD.
② Boa estabilidade química: O carbeto de silício (SiC) é quimicamente estável e pode suportar a corrosão de vários gases químicos e reagentes usados no processo de fabricação de semicondutores.
③Limpeza antes da embalagem: Também realizaremos um procedimento de limpeza antes da embalagem para preservar a lisura e a planicidade da superfície do barco.
④Sem desprendimento de partículas: Os barcos de carboneto de silício são resistentes e robustos, estruturalmente estáveis, resistentes ao desgaste e ao desprendimento de partículas em condições normais de uso.

As placas de carboneto de silício são mais caras do que as placas de quartzo. No entanto, as placas de carboneto de silício têm longa vida útil, exigem pouca manutenção, possuem boa estabilidade química, alta resistência mecânica e alta precisão dimensional; portanto, o custo total é baixo.

Barcos de carboneto de silício podem deformar-se ou rachar devido à exposição prolongada a temperaturas muito elevadas. No entanto, o risco é consideravelmente menor do que com outros materiais, como quartzo ou alumina. A alta resistência à temperatura e a resistência à fluência do SiC permitem que ele mantenha a forma e a estabilidade mesmo sob cargas pesadas e múltiplos ciclos de aquecimento. O uso inadequado (por exemplo, exposição a temperaturas nominais excessivas, resfriamento rápido ou gases corrosivos como o flúor) causará falhas.

Em relação aos tipos de SiC, o SSiC e o RSiC oferecem a melhor resistência à deformação e ao trincamento. Evite o uso de RBSiC em ambientes com temperaturas extremamente altas e flúor. Barcos de SiC podem operar de forma confiável na produção industrial por anos com seleção adequada, aquecimento e resfriamento graduais e inspeção periódica.

A vida útil de um barco de carboneto de silício pode variar de um a mais de cinco anos. A vida útil real em uso depende de três fatores principais: material, condições de processamento e manutenção.
① Material e Fabricação: A utilização de SiC de alta pureza e alta densidade proporciona a melhor resistência mecânica e à corrosão. O SSiC apresenta o melhor desempenho em aplicações reais de longa duração. O RSiC tem bom desempenho sob choque térmico. O RBSiC é uma opção econômica, porém não é tão estável em aplicações com temperaturas extremamente altas ou em ambientes com flúor.
② Condições de operação: Temperaturas de uso excessivas, gases agressivos, como flúor ou cloro, e ciclos extremamente rápidos de aquecimento ou resfriamento aceleram o envelhecimento e o aparecimento de rachaduras.
③ Manutenção e Manuseio: Certifique-se de utilizar técnicas de manuseio adequadas. Pequenas rachaduras ou deformações devem ser corrigidas o quanto antes para evitar falhas durante o uso.

① Limpeza cuidadosa e consistente: Certifique-se de deixar o barco de SiC esfriar completamente antes de limpá-lo. Não use escovas de metal ou esfregões abrasivos para evitar arranhar a superfície.
② Remoção segura de depósitos persistentes: Para pequenos depósitos, use lixa de carbeto de silício (SiC) de granulação média ou pasta de polimento em água deionizada. Para manchas químicas, recomenda-se o uso apenas de ácidos diluídos (HCl ou HNO3 com concentração inferior a 10%). Enxágue bem e seque completamente, independentemente do produto de limpeza utilizado.
③ Inspeção e armazenamento regulares: Inspecione regularmente o barco para verificar rachaduras, empenamentos ou deformações. Não coloque, armazene ou transporte barcos em uma superfície plana que possa causar tensão ou danos por impacto.