Barco de carburo de silicio

La vida útil de las barquillas de cristal de carburo de silicio es muy larga debido a que el carburo de silicio posee excelentes propiedades, como resistencia a altas temperaturas, corrosión, resistencia mecánica y excelente estabilidad química.

La vida útil de los botes de carburo de silicio puede alcanzar hasta alrededor de 1000-3000 veces en condiciones normales de proceso. en la fabricación de semiconductores y otras industrias. Si se aplica en algunos procesos especiales con menor pérdida para el bote de cristal, su vida útil puede incluso ser más de 3000 veces después de un buen mantenimiento. En ciertas condiciones de proceso adversas, como por ejemplo temperaturas ultraaltas o entornos de corrosión química severa, la vida útil de la barquilla de obleas de carburo de silicio puede reducirse entre 800 y 1500 veces.

Las barquillas de carburo de silicio no contaminarán las obleas por las siguientes razones:
①Alta pureza y bajas impurezas: Controlamos la pureza de forma estricta, incluyendo la pureza del blanco y la pureza CVD.
②Buena estabilidad química: El carburo de silicio (SiC) es químicamente estable y puede soportar la corrosión de varios gases y reactivos químicos utilizados en el proceso de fabricación de semiconductores.
③Limpieza antes del embalaje: También llevaremos a cabo un procedimiento de limpieza antes del embalaje para preservar la suavidad y planitud de la superficie de la embarcación.
④Sin desprendimiento de partículas: Las barquillas de carburo de silicio son resistentes y robustas, estructuralmente estables, resistentes al desgaste y al desprendimiento de partículas en condiciones de uso normal.

Las barquillas de carburo de silicio son más caras que las de obleas de cuarzo. Sin embargo, las barquillas de carburo de silicio ofrecen durabilidad, bajo mantenimiento, buena estabilidad química, alta resistencia mecánica y alta precisión dimensional; por lo tanto, el costo total es bajo.

Las barquillas de carburo de silicio pueden deformarse o agrietarse por la exposición prolongada a temperaturas muy elevadas. Sin embargo, el riesgo es considerablemente menor que con otros materiales como el cuarzo o la alúmina. La resistencia a altas temperaturas y la resistencia a la fluencia del SiC le permiten mantener su forma y estabilidad incluso bajo cargas pesadas y múltiples ciclos de calentamiento. Un uso inadecuado (por ejemplo, la exposición a una temperatura nominal excesiva, un enfriamiento rápido o gases corrosivos como el flúor) provocará fallos.

En cuanto a los tipos de SiC, el SSiC y el RSiC ofrecen la mejor resistencia a la deformación y al agrietamiento. Se debe evitar el uso de RBSiC en entornos de temperaturas ultra altas y con presencia de flúor. Las barquillas de SiC pueden funcionar de forma fiable en la producción industrial durante años con una selección adecuada, un calentamiento y enfriamiento graduales y una inspección periódica.

La vida útil de una barquilla de carburo de silicio puede oscilar entre uno y más de cinco años. La vida útil real en uso depende de tres factores principales: el material, las condiciones de procesamiento y el mantenimiento.
① Material y fabricación: El uso de SiC de alta pureza y alta densidad proporciona la mejor resistencia y durabilidad frente a la corrosión. El SSiC ofrece el mejor rendimiento en términos de vida útil. El RSiC presenta un buen desempeño ante choques térmicos. El RBSiC es una opción económica, pero no es tan estable en aplicaciones con temperaturas extremadamente altas ni en entornos con flúor.
② Condiciones de funcionamiento: Las temperaturas de uso excesivas, los gases agresivos, como el flúor o el cloro, y los ciclos de calentamiento o enfriamiento extremadamente rápidos acelerarán el envejecimiento y el agrietamiento.
③ Mantenimiento y manipulación: Asegúrese de utilizar las técnicas de manipulación adecuadas. Las pequeñas grietas o deformaciones deben corregirse cuanto antes para evitar fallos de funcionamiento.

① Limpieza cuidadosa y constante: Asegúrese de dejar que la barquilla de SiC se enfríe por completo antes de limpiarla. No la limpie con cepillos metálicos ni con estropajos abrasivos para evitar rayar la superficie.
② Eliminación segura de depósitos persistentes: Para depósitos pequeños, utilice papel de lija de carburo de silicio de grano medio o pasta de pulir en agua desionizada. Para manchas químicas, solo se recomiendan ácidos diluidos (con una concentración inferior a 101 TP3T de HCl o HNO3). Enjuague y seque bien, independientemente del producto de limpieza que utilice.
③ Inspección y almacenamiento regulares: Inspeccione la embarcación periódicamente para detectar grietas, deformaciones o alabeos. No coloque, almacene ni transporte embarcaciones sobre superficies planas que puedan sufrir daños por tensión o impacto.