Vorteile von Siliziumkarbidbooten
- Hohe Reinheit, die Reinheit des Halbfertigprodukts ≥99,91 TP3T
- Die Reinheit der CVD-Beschichtung ist hoch und beträgt bis zu 99,999871 TP3T.
- Hohe Maßgenauigkeit, fähig zur präzisen Positionierung und Fixierung von Wafern
- Gute chemische Stabilität, reagiert nicht leicht mit anderen Substanzen
- Glatte Oberfläche zur Vermeidung von Partikelverunreinigungen
- Hohe Wärmeleitfähigkeit, bis zu 163 W/m·K
Siliziumkarbidboote verschiedener Typen
NKM bietet verschiedene Verfahren und Formen von Siliziumkarbid-Booten zum Transport von Wafern entsprechend den Eigenschaften Ihres Ofens an.
Die hohe Dichte, typischerweise 3,04 g/cm³, erleichtert das Be- und Entladen der Wafer.
Die maximale Betriebstemperatur beträgt 1620℃. Gewährleistet Maßgenauigkeit und Oberflächenqualität.
Die vertikale Bauweise ermöglicht die Verarbeitung einer größeren Anzahl von Wafern auf begrenztem Raum. Geeignet für die Bearbeitung von Wafern in großen Mengen.
Eine hohe Raumausnutzung kann die Produktionskapazität der Anlagen verbessern.
Warum sollten Sie sich für ein Newthink Siliziumkarbid-Boot entscheiden?
Das von Newthink wurde von Kunden anerkannt und erfolgreich verifiziert. NKM bietet stets präzise und qualitativ hochwertige Produkte und Dienstleistungen.
Wir haben Erfahrung in der Herstellung von vertikalen und horizontalen Waferbooten und haben bereits in großen Mengen exportiert.
Ein professionelles Team fertigt Siliziumkarbidboote, die verschiedenen Präzisionsanforderungen gemäß den Zeichnungen und Vorgaben des Kunden gerecht werden.
Für Kunden, die die Qualität testen möchten, stellen wir kostenlose Musterblöcke zum Testen zur Verfügung.
Vor der Auslieferung prüfen wir das Halbfertigprodukt und die CVD-Beschichtung und erstellen einen Prüfbericht.
Bestanden ISO-Zertifizierung, jeder Prozess wurde streng kontrolliert, um eine stabile und zuverlässige Produktqualität zu gewährleisten.
Wir verfügen über hochreine Rekristallisations- und Reaktionssinterverfahren, ausgereifte Formgebungsverfahren, CNC-Bearbeitungsmöglichkeiten, Sintertechnologie und Reinigungsmöglichkeiten.
Werkstatt zur Herstellung von Siliziumkarbidbooten
Newthink verfügt über 14 Jahre Erfahrung in der Herstellung von Hochleistungskeramik. Für die Halbleiterindustrie bieten wir ein komplettes Portfolio an kundenspezifischen Lösungen an, darunter: hochreine Rohstoffe, Ausgereifte Formgebungsverfahren, CNC-Bearbeitung, Sintertechnologie, Reinigungsverfahren, CVD-Beschichtungstechnologie und Produktprüfungskapazitäten gewährleisten durch den strengen Produktionsprozess die Lieferung von Produkten in garantierter Qualität und Menge.
Treffen Sie uns auf Messen und bei Werksbesichtigungen.
Treffen Sie uns auf Messen
Newthink beteiligt sich das ganze Jahr über aktiv an wichtigen Industrie- und Hightech-Keramikmessen weltweit, beispielsweise in Italien, Deutschland, Japan und Vietnam, und trifft sich dort direkt mit seinen Kunden.
Werksbesichtigungen
Wir laden neue und bestehende Kunden herzlich ein, unser Werk zu besichtigen, unsere Produktionsprozesse kennenzulernen, sich von unserer Qualitätskontrolle zu überzeugen und über eine zukünftige Zusammenarbeit zu sprechen. Durch den regelmäßigen Austausch und die engen Beziehungen, die wir im Rahmen dieser internationalen Veranstaltungen und Besuche aufgebaut haben, genießen wir das tiefe Vertrauen von Kunden in über 40 Ländern und Regionen.
Ressource
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Parameter des Siliziumkarbidboots
Der GDMS-Bericht über das Siliciumcarbid-Boot lautet wie folgt.
- Datenblatt
| Element | Inhalt | Element | Inhalt |
| Li | < 0,01 | Landwirtschaft | < 0,1 |
| Sei | < 0,01 | CD | < 0,1 |
| B | 0.01 | In | Hilfselektrode |
| C | Hauptkomponente | Sn | < 0,5 |
| F | < 1 | Sb | < 0,1 |
| N / A | 0.06 | Te | < 0,5 |
| Mg | < 0,05 | I | < 20 |
| Al | 0.01 | Cs | < 5 |
| Si | Hauptkomponente | Ba | < 0,05 |
| P | < 0,05 | La | < 1 |
| S | 0.38 | Ce | < 0,05 |
| Cl | < 0,05 | Pr | < 0,05 |
| K | < 0,1 | Nd | < 0,05 |
| Ca | < 0,1 | Sm | < 0,05 |
| Sc | < 0,01 | EU | < 0,05 |
| Ti | < 0,01 | Gd | < 0,05 |
| V | < 0,01 | Tuberkulose | < 0,05 |
| Cr | < 0,05 | Dy | < 0,05 |
| Mn | < 0,05 | Ho | < 0,05 |
| Fe | < 0,05 | Er | < 0,05 |
| Co | < 0,01 | Tm | < 0,05 |
| Ni | 0.03 | Yb | < 0,05 |
| Cu | < 0,05 | Lu | < 0,05 |
| Zn | < 0,1 | Hf | < 0,05 |
| Ga | < 0,05 | Ta | < 10 |
| Ge | < 0,1 | W | < 0,05 |
| Als | < 0,05 | Re | < 0,05 |
| Se | < 0,5 | Os | < 0,01 |
| Br | < 0,1 | Ir | < 0,01 |
| Rb | < 0,1 | Teil | < 1 |
| Herr | < 0,1 | Au | < 0,5 |
| Y | < 0,1 | Quecksilber | < 0,1 |
| Zr | < 0,05 | Tl | < 0,05 |
| Nb | < 0,05 | Pb | < 0,1 |
| Mo | < 0,05 | Bi | < 0,01 |
| Ru | < 0,05 | Th | < 0,005 |
| Rh | < 0,05 | U | < 0,005 |
| Pd | < 0,1 |
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Vorrichtung zum Fixieren und Bewegen von Objekten, kann mit Robotern verwendet werden, weist eine gute thermische Stabilität auf.
Die Halterung, die das Heizelement trägt. Hilfreich für eine gleichmäßige Wärmeverteilung.
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WaffelgabelTransport von Wafern oder anderen Präzisionsbauteilen in Halbleiteranlagen.
Waferboote weisen typischerweise vertikale und horizontale Strukturen auf. Sie dienen hauptsächlich dem Transport und der Positionierung von Wafern. Sie sind eine wichtige Prozessausrüstung, die in der Halbleiterfertigung und der Solarindustrie weit verbreitet ist. Frühe Quarz-Waferboote bestanden größtenteils aus Quarz, wurden aber zunehmend durch Siliziumkarbid-Waferboote ersetzt.
Die Lebensdauer von Siliciumcarbid-Kristallbooten ist sehr hoch, da Siliciumcarbid hervorragende Eigenschaften wie Beständigkeit gegen hohe Temperaturen, Korrosion, mechanische Festigkeit und ausgezeichnete chemische Stabilität aufweist.
Die Lebensdauer von Siliziumkarbidbooten kann bis zu etwa 1000-3000 Mal unter normalen Prozessbedingungen in der Halbleiterfertigung und anderen Branchen. Bei Anwendung in speziellen Prozessen mit geringeren Verlusten am Kristallbehälter kann seine Lebensdauer sogar ... mehr als 3000 Mal nach guter Wartung. Unter bestimmten anspruchsvollen Prozessbedingungen, wie beispielsweise extrem hohen Temperaturen oder aggressiver chemischer Korrosion, kann sich die Lebensdauer von Siliziumkarbid-Wafer-Booten auf das 800- bis 1500-fache reduzieren.
Siliziumkarbid-Boote verunreinigen die Wafer aus folgenden Gründen nicht:
①Hohe Reinheit und geringe Verunreinigungen: Wir kontrollieren die Reinheit streng, einschließlich der Rohreinheit und der CVD-Reinheit.
② Gute chemische Stabilität: Siliciumcarbid (SiC) ist chemisch stabil und übersteht die Korrosion durch verschiedene chemische Gase und Reagenzien, die bei der Herstellung von Halbleitern verwendet werden.
③Reinigung vor dem Verpacken: Wir werden vor dem Verpacken auch eine Reinigung durchführen, um die Glätte und Ebenheit der Oberfläche des Bootes zu erhalten.
④Kein Partikelabwurf: Siliziumkarbid-Schiffe sind zäh und robust, strukturell stabil und bei normalem Gebrauch verschleißfest und partikelabweisend.
Siliziumkarbid-Schiffchen sind zwar teurer als Quarzwafer-Schiffchen, zeichnen sich aber durch Langlebigkeit, geringen Wartungsaufwand, gute chemische Stabilität, hohe mechanische Festigkeit und hohe Maßgenauigkeit aus; dadurch sind die Gesamtkosten niedrig.
Siliziumkarbid-Schiffe können sich bei längerer Einwirkung sehr hoher Temperaturen verformen oder reißen. Das Risiko ist jedoch deutlich geringer als bei anderen Materialien wie Quarz oder Aluminiumoxid. Die hohe Festigkeit und Kriechfestigkeit von SiC ermöglichen es, Form und Stabilität auch unter hoher Belastung und wiederholten Heizzyklen beizubehalten. Unsachgemäße Verwendung (z. B. Einwirkung überhöhter Nenntemperaturen, zu schnelles Abkühlen oder korrosive Gase wie Fluor) führt zum Versagen.
SSiC und RSiC bieten die beste Beständigkeit gegen Verformung und Rissbildung. RBSiC sollte nicht in Umgebungen mit extrem hohen Temperaturen und Fluor verwendet werden. SiC-Schiffe können bei sachgemäßer Auswahl, schonendem Erhitzen und Abkühlen sowie regelmäßiger Inspektion jahrelang zuverlässig in der industriellen Fertigung eingesetzt werden.
Die Lebensdauer eines Siliziumkarbid-Bootes kann zwischen einem und über fünf Jahren liegen. Die tatsächliche Nutzungsdauer hängt von drei Hauptfaktoren ab: Material, Verarbeitungsbedingungen und Wartung.
① Material und Fertigung: Die Verwendung von hochreinem und hochdichtem SiC führt zu optimaler Festigkeit und Korrosionsbeständigkeit. SSiC zeigt die besten Ergebnisse im praktischen Einsatz. RSiC ist temperaturbeständig. RBSiC ist eine kostengünstige Alternative, jedoch weniger stabil bei extrem hohen Temperaturen oder in fluorhaltiger Umgebung.
② Betriebsbedingungen: Übermäßige Betriebstemperatur, aggressive Gase wie Fluor oder Chlor sowie extrem schnelle Heiz- oder Kühlzyklen beschleunigen die Alterung und Rissbildung.
③ Wartung und Handhabung: Achten Sie auf die korrekte Handhabung. Kleine Risse oder Verformungen sollten umgehend behoben werden, um Funktionsstörungen im Betrieb zu vermeiden.
① Sorgfältige und gleichmäßige Reinigung: Lassen Sie das SiC-Boot vor der Reinigung vollständig abkühlen. Verwenden Sie keine Metallbürsten oder Scheuermittel, um Kratzer auf der Oberfläche zu vermeiden.
② Hartnäckige Ablagerungen schonend entfernen: Bei leichten Ablagerungen mittelfeines SiC-Schleifpapier oder Polierpaste in deionisiertem Wasser verwenden. Bei chemischen Flecken sind verdünnte Säuren (weniger als 10% HCl oder HNO3) die einzigen empfohlenen Reinigungsmittel. Unabhängig vom verwendeten Reinigungsmittel gründlich abspülen und trocknen.
③ Regelmäßige Inspektion und Lagerung: Überprüfen Sie das Boot regelmäßig auf Risse, Verformungen oder sonstige Beschädigungen. Stellen, lagern oder transportieren Sie Boote nicht auf einer ebenen Fläche, da dies zu Spannungen oder Stoßschäden führen kann.
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